■性能指標(biāo)　　 波長(zhǎng)范圍：200nm-800nm（可擴(kuò)展到25um），離軸拋物鏡焦距f=500mm　　 相對(duì)孔徑比：D/f=1/67　　 線色散倒數(shù)：1.6nm/mm　　 狹縫　　　寬度范圍：0.01-3mm連續(xù)可調(diào)　　　示值：0.005mm/格　　　最大高度：25mm　　 主機(jī)重量：20kg　　　技術(shù)指標(biāo)　　 分辨極限：優(yōu)于0.1nm(在576.96nm處)　　 波長(zhǎng)示值誤差：優(yōu)于 0.3nm　　 波長(zhǎng)重復(fù)性：0.05nm（單向）　　 儀器雜散光：10-3，距主線(632.8nm)2mm處測(cè)量　　 掃描速度連續(xù)可調(diào)：100nm/min-0.005nm/min（可更低）　　 采集間隔可變：0.0025nm-1nm（可更大）　　 動(dòng)態(tài)范圍達(dá)五個(gè)數(shù)量級(jí)以上，分段積分時(shí)間可變　0.004秒-3秒（可更長(zhǎng)）　　 測(cè)量精密度：優(yōu)于0.4％