是否提供加工定制是類型質量流量計測量范圍1000（m3/h）精度等級±1 %公稱通徑10（mm）適用介質氣體工作壓力10（MPa）工作溫度50（℃）（1）流量范圍： 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM0~1, 2, 3, 5,10，20，30 50 100 ..1000SLM（2）準確度（%F·s）： ±1 % F.S（20，30SLM ±2 % F.S）（3）線性（%F·s）： ±(0.5~1) % F.S（4）重復精度（%F·s）： ±0.2 %F.S（5）響應時間(sec) 電特性： 10氣特性： 1~4（6）工作壓差范圍(MPa)： 0.05~0.3（7）耐壓(MPa)： 10（8）工作環(huán)境溫度（℃）： 5~45℃（9）輸入輸出信號電壓：0~ 5.00V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)（10）電源： 15V±5% 50mA；-15V±5% 200mA（11）調節(jié)閥常閉電磁調節(jié)閥（12）流量控制范圍：2~100%F.S（13）溫度系數： 0.1%F.S/℃（14）漏率： 1*10-7 Pa*m3/s(He)（15）外形尺寸（mm） 125×32×105（16）重量（kg） 1.0天津澤益誠科技有限公司聯系人：李先生聯系電話：18622050785 www.zeyicheng.com