測(cè)量面的平行度誤差: 測(cè)量范圍上限至100MM的千分尺兩測(cè)量面的平行度采用絲桿螺距的1/3或1/4的光學(xué)平晶來(lái)進(jìn)行檢驗(yàn);依次將光學(xué)平行平晶防入兩測(cè)量面間,轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)力裝置,施加5-10N的力,使光學(xué)平行平晶與測(cè)量面間相接觸,并輕輕轉(zhuǎn)動(dòng)平晶,使兩側(cè)量面出現(xiàn)的干涉帶數(shù)目減至最少. 測(cè)量范圍大于100MM的千分尺測(cè)量面的平午度可用自準(zhǔn)直儀進(jìn)行檢驗(yàn). 在距測(cè)量面邊緣0.4MM范圍內(nèi)的平行度忽略不計(jì).測(cè)量范圍最大允許誤差10N測(cè)力下兩測(cè)量面的平行度公差0-25MM0.004MM0.002MM25-50MM0.004MM0.002MM50-75MM0.005MM0.003MM75-100MM0.005MM0.003MM100-125MM0.006MM0.004MM125-150MM0.006MM0.004MM150-175MM0.007MM0.005MM175-200MM0.007MM0.005MM200-225MM0.008MM0.006MM225-250MM0.008MM0.006MM250-275MM0.009MM0.007MM275-300MM0.009MM0.007MM