晶圓片托架落座傳感器薄片載體的落座檢測■依靠與導槽并用，設定落座位置?！鼍A片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優(yōu)越?！鲈讵毺氐墓鈱W結構，幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架?！霾捎脧娍雇獠扛蓴_光的變調光方式?！鲭娋€使用凈化電線(無粉塵)。檢測方法 反射型檢測距離 0~3mm動作模式 晶圓片托架時ON導線長 2mEE-SPY801EE-SPY802額定值/性能項目型號EE-SPY801/802檢測距離(標準檢測物體)0～5mm（反射率90%白色紙15×15mm2）0～3mm（反射率10%黑色紙15×15mm2）檢測物體晶圓片拖架（透明體·不透明體）動作顯示燈物體檢測時燈亮（橙色）光源(發(fā)光波長)GaAs紅外發(fā)光二極管(940nm)電源電壓DC12～24V±10%脈動(p-p)5%以下消耗電流30mA以下控制輸出NPN型：集電極開路輸出、DC5～24V、100mA以下殘留電壓：0.8V以下(負載電流100mA時)殘留電壓：0.4V以下(負載電流40mA時)應答時間5ms以下使用環(huán)境照度受光面照度白熾燈、太陽光：3,000lx以下環(huán)境溫度動作時：－10～＋55℃、保存時：－25～＋65℃（不結冰）環(huán)境濕度動作時：5～85％RH、保存時：5～95％RH（不結露）振動(耐久)1～500Hz復振幅1.0mm或150m/s2X、Y、Z各方向3次、11min/次沖擊(耐久)500m/s2X、Y、Z各方向3次保護結構IEC規(guī)格IP30連接方式導線引出型(標準導線長2m)質量(包裝狀態(tài))本體(傳感器)：約43g、附件(導槽)：約9g材質外殼四氟乙烯共聚合物（ETFE）底板聚對苯二甲酸丁二醇酯附件使用說明書