上海TANS實(shí)業(yè)有限公司是Brooks、MKS、UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等世界著名品牌（MFC）氣體質(zhì)量流量控制器的集成供應(yīng)商。品種規(guī)格齊全，原裝進(jìn)口，品質(zhì)保證。全國免費(fèi)熱線：4006162939集成了質(zhì)量流量監(jiān)測計(jì)（MFM）的 PC99能在進(jìn)行壓力測量和控制的同時(shí)，還能夠監(jiān)測關(guān)鍵工藝應(yīng)用中的氣體的流量，如進(jìn)行晶圓片背面壓力的控制和工藝氣體控制面板上壓力的平衡。所有上述功能集成在一個(gè)緊湊的包封單元中，與以前具有相同功能的多部件系統(tǒng)相比，它減小了所占的空間。