特征★三軸優(yōu)質(zhì)鑄鐵框架★三軸滾動(dòng)導(dǎo)軌★Z軸花崗石軟接觸高精度滾動(dòng)導(dǎo)軌★測(cè)頭各種測(cè)量姿態(tài)保證測(cè)端球心對(duì)中★配備微型坐標(biāo)測(cè)量掛架★X軸雙標(biāo)尺伺服同步驅(qū)動(dòng)★Z軸支架鋁合金結(jié)構(gòu)★測(cè)量掛架與工作臺(tái)可分離或duli★測(cè)量系統(tǒng)與工作平臺(tái)分離設(shè)計(jì)★溫度補(bǔ)償技術(shù)規(guī)格型號(hào)X(mm)Y(mm)Z(mm)11123-1.5-13000150010005-1.5-15000150010008-2-1.5800020001500精度等級(jí)：A、B、C三級(jí)精度等級(jí)單軸精度(um)空間精度(um)R11自到A3+3L/10005+5L/100010B5+5L/10008+8L/100015C8+8L/100015+15L/100020分辨率0.001mm