一、技術參數行程范圍：X軸------700mmY軸------800mmZ軸------600mm結構型式：活動橋式傳動方式：柔性齒同步帶+預載荷高精度空氣軸承長度測量系統(tǒng)：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5 m機臺：高精度花崗巖平臺使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min整機尺寸：1.7mX1.9mX2.7m機臺承重：750kg整機重量：950kg控制及探針測量系統(tǒng)：1．驅動系統(tǒng)：直流伺服電機(日本)2．控制系統(tǒng)：Renishaw（英國）UCC3．操作方式：計算機自動控制+微電腦操縱盒4．控制軟件：SEREINDMISV2.05．探測系統(tǒng)：Renishaw（英國）MH20i+TP20（標準配置）6．測量不確定度（E）：（3+L/300） m二、機械特點 1．整機設計采用單邊活動橋式結構，該結構緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運動性能，確保了測量精度及穩(wěn)定性。2．三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。 3．三軸導軌均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承，使運動更平穩(wěn)，導軌永不受磨損。 4．長度測量系統(tǒng)采用英國RENISHAW的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數接近，從而提高設備的穩(wěn)定性。5．控制系統(tǒng)采用英國RENISHAW的UCCLITE高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內嵌32位微處理器，真正實現實時控制。