本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計，它主要由電器測量部份（主機）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度 主要技術(shù)指標: 。對0.1～199.9 *cm標準樣片的測量誤差不超過 0.2 *cm。（1）測量范圍：可測量電阻率：0.1～199.9 *cm。最大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0-10 *cm 誤差為 0.2 *cm ，10-50 *cm誤差為 5 *cm， 50-100 *cm 誤差為 20 *cm ，100 *cm以上，誤差 30 *cm 適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（最大）園形Ф100mm 方形230 220mm （2）恒流源： 輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，（3）直流數(shù)字電壓表 測量范圍：0.1～199.9mv 靈敏度：100 v 準確度：0.2 *cm（4）供電電源：AC： 220V 10%（保護隔離） 50/60HZ 功率2W（5）四探針探頭； a.鎢鋼探針或高速鋼探針 b.間距1 0.01mm c.針尖絕緣電阻 100m d.機械游移率≦1.0% e.探針壓力 12-16牛頓（總力）（6） 使用環(huán)境： 溫度23 2℃，相對濕度 80% 無較強的電場干擾 無強光直接照射(7) 使用方法；a. 使用儀器前將電源線、測試筆聯(lián)接線與主機聯(lián)接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關(guān)，此時前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉(zhuǎn)前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)b. 校準設(shè)備：根據(jù)樣塊來校準儀器，校準完畢后來測與樣塊同樣厚度的硅料，或根據(jù)國標電流修正系數(shù)表通過厚度調(diào)節(jié)電流來校準儀器，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀。 c.測試: 用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可. d． 校驗：在測試過程中要求每隔2小時用標準樣塊校準一次設(shè)備一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作 維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。