DH2004 微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置自然界中物質(zhì)的形態(tài)除了固、液、氣三種形態(tài)之外,還存在第四態(tài),即等離子體狀態(tài).等離子體的產(chǎn)生過(guò)程為:固體物質(zhì)在受熱的情況下熔化成液體,液體進(jìn)一步受熱后變成氣體,氣體進(jìn)一步受熱后,中性的原子和分子電離成離子和電子,形成等離子體.由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團(tuán),這使得等離子體能夠參與或發(fā)生許多不同的化學(xué)或物理反應(yīng). 本裝置由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波,沿矩形波導(dǎo)管傳輸,經(jīng)過(guò)調(diào)整短路活塞,最后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球.可開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn):在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備各種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學(xué)合成等實(shí)驗(yàn);適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究.培養(yǎng)學(xué)生掌握等離子體技術(shù)的應(yīng)用. 本裝置需另配光學(xué)顯微鏡、超聲波清洗機(jī)、氣源.隨機(jī)配備基材、金剛石微粉. 裝置已申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利:200610050018.8;獲得實(shí)用新型專(zhuān)利:ZL200620102055.4.主要技術(shù)特點(diǎn)◆無(wú)內(nèi)部電極,可避免放電污染,運(yùn)行氣壓范圍寬,能量轉(zhuǎn)換效率高,可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體.◆設(shè)有垂直交叉的兩個(gè)方向的透明觀察窗,可直觀觀察等離子體的放電特性.◆微波等離子體刻蝕精度達(dá)到亞微米級(jí).制備各種功能薄膜材料的速率較快.主要技術(shù)參數(shù)及性能 1、微波源:功率0～800W連續(xù)可調(diào)輸出; 2、真空系統(tǒng):采用旋片真空泵,單相220V交流電源,極限真空6 10-1帕,抽速2升/秒;真空計(jì)采用數(shù)顯壓阻式真空計(jì)和熱偶真空計(jì)聯(lián)合作用,用于測(cè)量本底真空和工作時(shí)的工作氣壓.真空密封采用金屬和橡膠密封;真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細(xì)調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好. 3、供氣系統(tǒng):有兩路獨(dú)立供氣氣路,通過(guò)轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量. 4、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水.制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在30度以下,無(wú)水源要求. 5、微波傳輸及微波諧振腔:配有環(huán)行器、水負(fù)載和三螺釘阻抗調(diào)配器,可保證微波源的安全工作;配有微波反射測(cè)量系統(tǒng),保證等離子體最大限度地吸收微波能.反應(yīng)室工作壓強(qiáng):幾帕～十千帕;反應(yīng)室極限壓強(qiáng):6 10-1帕;真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸: 50mm;基片溫度范圍:200～1000℃;電磁波功率:0～800W;接地線＜3 .