儀器型號 FCX2-3, FCX2-5, FCX2-6, FCX2-8, FCX2-10, FCX2-12, FCX2-15. 儀器參數 | 采樣速度 | >8000數據/秒 | 移動速度 | 0.5mm/秒 | 傳感器移動 | X: 100mm ; Z: 420mm | 分辨率 | 65,536:1 | 凈重 | 100 Kg | 尺寸 | 620mm×400mm×720mm |
| | 粗糙度測量性能 | 評定參數 | Ra,Ry,Rq,Rp,Rv,Rz,Tp,S,Sm,Tp | 取樣長度L | 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm | 評定長度Ln | 1L-5L或任意長度 | 測量范圍 | 0.01 - 50μm | 分辨率 | 65,536:1 | 示值誤差 | ≤±3% | 殘余輪廓 | <0.005μm | 觸針針尖半徑 | <0.5μm | 濾波器 | 高斯濾波器 |
| 輪廓測量性能 | 測試參數 | 圓半徑, 角度, 距離, 落差等 | 測量范圍 | X: 100mm ; Z: ±3 到 ±15mm (視型號) | 形狀誤差 | 0.1%-1.0% |
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