東安開發(fā)有限公司的專利生產(chǎn)線能生產(chǎn)出具有最優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度和親水性能的PVA海綿。ProCleanTMPVA清潔材料的工作原理：在清潔過程中改變PVA（聚乙烯醇）的分子結(jié)構(gòu)，使基片，PVA，水及清潔介質(zhì)在一定的時(shí)間內(nèi)達(dá)到最佳的反應(yīng)狀態(tài)，從而保證達(dá)到嚴(yán)格的清潔效果。PVA是一種性能極佳的化學(xué)清潔劑的反應(yīng)介質(zhì)，正是它給待清潔的基片提供了最強(qiáng)有力的清潔作用，而進(jìn)行產(chǎn)品表面的擦洗只是輔助PVA對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行清潔。在許多先進(jìn)的半導(dǎo)體元件制造中，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是非常很需要的制造技術(shù)。化學(xué)機(jī)械拋光在特定的制造步驟間，讓硅晶圓表面達(dá)到全面的平面化，使更多層電路可以垂直地在元件上制造。PVA海綿具有極佳的親水性能和較好的柔韌性，不易劃傷硅片，且去除顆粒效果好。PVA海綿在半導(dǎo)體制造業(yè)的CMP后清洗中有著重要的應(yīng)用。