NANOMAP 500LS探針式三維形貌儀

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所在地：	北京
有效期至：	長期有效
更新日期：	2019-04-26 10:33
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公司基本資料信息

北京億誠恒達科技有限公司
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聯(lián)系人鄭鵬(女士)
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【NANOMAP 500LS探針式三維形貌儀】詳細說明

?簡介：
美國AEP Technology公司主要從事半導體檢測設備, MEMS檢測設備, 光學檢測設備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的領先供應者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。
NANOMAP 500LS三維形貌儀，既有高精密度和準確度的局部（Local）SPM掃描，又具備大尺度和高測量速度；既可用來獲得樣品表面垂直分辨率高達0.05nm的三維形態(tài)和形貌，又可以定量地測量表面粗糙度及關鍵尺寸，諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等，并計算關鍵部位的面積和體積等參數(shù)。樣件無須專門處理，在高速掃描狀態(tài)下測量輪廓范圍可以從1nm 到10mm。該儀器的應用領域覆蓋了薄膜/涂層、光學，工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導體等幾乎所有的材料領域。
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特點：
1.???? 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
2.???? 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
3.???? 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率（最?。?１nm ）
4.???? 專業(yè)的SPIP分析軟件
5.???? 軟件設置恒定微力接觸。
6.???? 簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面。
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產(chǎn)品參數(shù)：
1.???? 縱向分辨率：0.1nm
2.???? 重復精度：0.54nm（1σ@1000nm ）
3.???? 接觸力：0.01mg ~ 100mg
4.???? 縱向量程：500um or 1000um
5.???? 探針掃描范圍：10um ~ 500um
6.???? 樣品臺掃面范圍：500um~100mm
7.???? 采樣速率：100Hz
8.???? 彩色CCD
9.???? 視場分辨率：512X512 像素
10.? 視場放大： 4 級調(diào)節(jié) 480x480um 到 1.5X1.5mm
11.? 自動平臺：150mm X 150mm 運動范圍
12.? 樣品臺：150mm 直徑，200mm可選
13.? 探針：標注：2um 曲率半徑，100nm接觸面積； 0.05~25um曲率可選
14.? 標準臺階高度樣品，美國NIST標定： 500nm ；100um 兩塊
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