產(chǎn)品用途該設(shè)備主要適用于4 -8 晶圓的單面高精度拋光加工，也可用于其它同規(guī)格硬脆材料的單面高精度拋光加工。二、主要特點1.主拋光盤采用高精度平面推力軸承支撐，特殊的進口蝸輪蝸桿減速器通過皮帶而傳動，傳動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)精度高。2.主電機采用變頻器調(diào)速拖動，調(diào)速平滑，運行平穩(wěn)。3.主拋光盤采用集中冷卻裝置，通過自動檢測拋光盤盤面的溫度高低而調(diào)整冷卻水的流量進行精密溫度控制，保證了拋光過程中溫度的恒定控制，控制精度高。4.上拋光頭采用四個進口擺線針輪減速機通過非金屬齒輪拖動而主動旋轉(zhuǎn)，并通過四個變頻器單獨調(diào)速控制，無振動、沖擊等現(xiàn)象。5.四個拋光頭的壓力采用氣動控制方式，采用壓力反饋控制模式，壓力控制精確穩(wěn)定，設(shè)定方便，壓力可進行無級多段設(shè)定，工藝使用范圍更廣。6.拋光頭采用變截面結(jié)構(gòu)，有效消除了拋光頭的壓力施加分布不均勻的現(xiàn)象。7.供液系統(tǒng)具有拋光液加熱、溫度檢測等功能，拋光液桶采用防腐蝕的非金屬材料制作，有效防止了拋光液的污染。8.電氣控制采用高檔可編程序控制器PLC及人機界面PT控制模式,控制先進可靠，壓力、速度、溫度等均可實現(xiàn)自動設(shè)定運行控制，溫度可實現(xiàn)即時檢測和控制。9.壓力、速度等的控制過程可設(shè)定多段（也可按用戶要求進行設(shè)計）多組工藝參數(shù)，下盤及各上盤系統(tǒng)的速度在自動狀態(tài)下可單獨設(shè)定，在手動狀態(tài)下通過面板電位器調(diào)定。三、主要技術(shù)參數(shù)1 主拋光盤尺寸： 1282mm2 承片盤直徑 485mm3 主拋盤轉(zhuǎn)速 0-63rpm4 拋光頭數(shù)量 45 拋光頭轉(zhuǎn)速 0-63rpm6 拋光頭升降氣缸缸徑/行程 200mm/250.5mm7 主拋盤驅(qū)動電機 22kW8 拋光頭驅(qū)動電機 4 0.75kW9 電源 380V/220V 10% 50/60Hz 10%10 氣源 0.5-0.6MPa11 耗氣量 60L/min12 重量 約7500kg13外形尺寸(長 寬 高):3046mm 1806mm 2516mm四、加工能力單頭：11片/ 4 8片/ 5 6片/ 6 3片/ 8 四頭：44片/ 4 32片/ 5 24片/ 6 12片/ 8