特長(zhǎng)﹡采用定電位電解式，對(duì)被測(cè)氣體具有選擇性 ﹡高檢測(cè)靈敏度 ﹡能檢測(cè)多種半導(dǎo)體氣體 ﹡液晶數(shù)字顯示規(guī)格 型 號(hào)XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303 檢測(cè)對(duì)象氣體 砷烷（ASH3） 磷烷（PH3） 乙硼烷（B2H6） 其它 檢測(cè)范圍 0~1ppm 0~0.2ppm 0~1ppm 0~0.3ppm 0~1ppm 因規(guī)格而異 最小刻度 0.1ppm 0.02ppm 0.1ppm 0.01ppm 0.1ppm 采樣方式 自動(dòng)吸引式 應(yīng)答速度 60%應(yīng)答40秒