TSMC擴(kuò)散硅差壓變送器，其中的差壓敏感元件采用一體化結(jié)構(gòu)，耐靜壓值高，堅(jiān)固、可靠。高、低壓端均采用隔離膜片保護(hù)，因此，兩個(gè)壓腔均可接觸具有一定腐蝕性和導(dǎo)電性的流體介質(zhì)，被測(cè)差壓通過(guò)隔離膜片和充灌的硅油傳遞到硅壓敏元件上，實(shí)現(xiàn)了差壓的精確測(cè)量?！　∶舾行酒捎妹绹?guó)生產(chǎn)的高精度和高穩(wěn)定性的擴(kuò)散硅壓阻式壓力敏感芯片。產(chǎn)品經(jīng)美國(guó)MAXIM公司的傳感器專用芯片1452進(jìn)行計(jì)算機(jī)線性校正和溫度補(bǔ)償，具有高可靠性。