敞開式直線光柵尺 敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床系統(tǒng) 典型應(yīng)用包括: 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 PCB電路板組裝機(jī) 超精密機(jī)床 高精密機(jī)床 測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備 直接驅(qū)動(dòng)
機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺或鋼帶光柵尺和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無機(jī)械接觸。敞開式直線光柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光柵尺精度。