9000型是一個基于彈簧作用于膜片操作原理的背壓調節(jié)閥，設計用于特殊的小流量氣體的應用。背壓閥控制入口壓力而不是控制出口壓力，操作上類似于安全閥。產品結構緊湊，可精確調節(jié)壓力，并且能維持入口壓力不隨流量變化而變化。設計特點 精確調節(jié) 軟閥座 全棒料結構 壓力表連接口 適合面板安裝產品規(guī)格流量范圍：0-1000sccm最大操作溫度：160℉(71℃)性能：流量靈敏度（偏差）：請詳見A圖-------精確調節(jié)（分辯率）：15轉壓力調節(jié)范圍：0-15psig(0-103.4KPa)--------------0-30psig(0-206.9KPa)--------------0-60psig(0-413.7KPa)--------------0-100psig(0-689.5KPa)連接：入口、出口和表接口均為1/8 Swagelok結構材質主體：鋁或不銹鋼閥帽：鋁孔：銅不銹鋼閥座：Viton隔膜：FairpreneBN-5029（BunaN在尼龍上）或不銹鋼范圍彈簧：琴線