RK1500系列裝備了一個(gè)密封針閥，它可以承受高真空，高壓，高溫和有毒氣體應(yīng)用：1真空系統(tǒng) 2半導(dǎo)體生產(chǎn)線 氣體液體流體Air,N2,O2,H2,He,Ar,andCO2水流量范圍0.5-5ML/MINto3-30L/MIN可選擇:0.5-3ML/MIN0.5-5ML/MINto0.1-1L/MIN0.5-3ML/MIN精度FS 2%FS 2% 壓力1.0MPa （ 100ML/MIN）0.7MPa （ 5L/MIN）0.5MPa （ 10L/MIN）1.0MPa （ 5ML/MIN）0.7MPa （ 150ML/MIN）0.5MPa （ 200ML/MIN）刻度10：1 可選：20：1