F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)電磁常閉 控制范圍2%-100%F.S.應(yīng)答性0-100%F.S2秒以下控制控制范圍應(yīng)答性精 度再現(xiàn)性2%-100%F.S.設(shè)定 98%F.S.至2秒以?xún)?nèi)（標(biāo)準(zhǔn)） 1.0%F.S.以?xún)?nèi) 0.2%F.S.以?xún)?nèi)精 度 1.5%F.S.再現(xiàn)性 0.5%F.S.使用壓差范圍 5SLM時(shí)，49～294KPA5SLM 范圍 20SLM時(shí)，98～294KPA壓力限制980KPA泄露率1 10 8Pam3/second或更小操作溫度5～45 C接觸介質(zhì)的材質(zhì)本體:SUS316L隔 膜VitonTM(可選:NoepreneTM)閥 座VitonTM(可選:NoepreneTM)密封材料BytonTM(可選:氯丁橡膠)連 接1/4SWL，可選1/8SWL，1/4VCR和1/4RC電氣連接9針插座控制信號(hào)0-5VDC輸出信號(hào)0-5VDC電 源+15VDC( 5%)100mA 15VDC( 5%)200mA 產(chǎn)品針對(duì)于大學(xué)、研究所用途開(kāi)發(fā)，作為各種氣體分析儀器、真空設(shè)備的采用標(biāo)準(zhǔn)，目前是銷(xiāo)售量最大的產(chǎn)品。