F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM 閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)電磁常閉 控制范圍2%-100%F.S 應(yīng)答性應(yīng)答速度 1秒精 度 1.0%F.S.以?xún)?nèi)線(xiàn) 性 0.5%F.S.以?xún)?nèi)再現(xiàn)性 0.2%F.S.以?xún)?nèi)動(dòng)作差壓49KPa-294KPa(F.S. 5SLM)98KPa-294KPa(5SLM F.S. 20SLM)耐 壓0.98MPa泄露率1 10 11Pam3/second或更小操作溫度0～50 C接觸介質(zhì)的材質(zhì)SUS316L，Au,PTFE連 接1/4VCR電氣連接9針插座控制信號(hào)0-5VDC輸出信號(hào)0-5VDC電 源5400：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)200mA5410：+15VDC( 5%)100mA， 15VDC( 5%)100mA安裝方向任何方位 日本Kofloc公司是一家專(zhuān)業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠(chǎng)家,在全球有廣泛的銷(xiāo)售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場(chǎng)合.