DSN-S型氣體質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30SLM準(zhǔn)精度： 1％F.S； 重復(fù)精度： 0.2%F.S線性： （0.5～1）％F.S工作壓差范圍：0.05～0.3MPa； 耐壓：3，10MPa工作環(huán)境溫度：5～45℃； 輸入輸出信號(hào)電壓：0～+5.00V電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA)電連接器：D14pin外形尺寸：130*28*121mm重量：約1.0kg接口尺寸：Swagelok : 3. 6. 10.1/4〞.3/8〞....VCR接頭：1/4〞.3/8〞.1/8〞........熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)即Mass Flow Meter（縮寫(xiě)為MFM）DSN系列是氣體流量計(jì)量中新型儀表，區(qū)別于其它氣體流量計(jì)不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的新型儀表。可用于石油、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫(yī)藥、環(huán)保等工業(yè)部門(mén)的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監(jiān)測(cè)。