一.行程范圍：X軸-----500mm Y軸------600mm Z軸-----400mm 二. 空間測(cè)量精度（E）：（2.8+L/300） m三.結(jié)構(gòu)型式：?jiǎn)芜吇顒?dòng)橋式結(jié)構(gòu),機(jī)臺(tái)導(dǎo)軌采用整體式燕尾槽,結(jié)構(gòu)鋼性好,熱變形一致,測(cè)量精度高四.傳動(dòng)方式：柔性齒型同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承,空氣軸承采用日本精工鑲紅寶石空氣軸承,能承受氣流長(zhǎng)久的切割,性能非常之穩(wěn)定五.長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：三軸均采用英國(guó)雷尼紹(RENISHAW)開放式金屬光柵尺，分辨率為0.5 m,六..驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)(日本三洋) PCI四軸運(yùn)動(dòng)控制卡(美國(guó))七.控制系統(tǒng)： 控制系統(tǒng)采用英國(guó)RENISHAW的UCC高速高精度自動(dòng)控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制；上下位采用光纖通訊，增強(qiáng)了電氣抗干擾能力。