產(chǎn)品說(shuō)明SI-MF840四通道可編程流量控制儀，采用先進(jìn)的高頻PWM開(kāi)關(guān)、微電腦控制技術(shù)、完善的控制技術(shù)及先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)技術(shù)研發(fā)設(shè)計(jì)，用于磁控濺射鍍膜、多弧鍍膜及各種CVD鍍膜設(shè)備中，用于氣體流量控制，使得氣體流量按預(yù)先編制的曲線進(jìn)行控制，完成繁雜的氣體流量控制過(guò)程。具體功能如下：1) 氣體流量按編制好的流量曲線進(jìn)行控制，單工藝編程步數(shù)可達(dá)1000步，每步最大編程時(shí)間為60000S（16.6小時(shí)）；2) 本機(jī)內(nèi)存10個(gè)工藝參數(shù)；3) 具有RS232或RS485計(jì)算機(jī)通訊接口，可遠(yuǎn)程監(jiān)控。可用計(jì)算機(jī)軟件編輯工藝，下載及上傳。4) 控制精度高，輸出精度可達(dá)0.1%，顯示分辨率 1字；5) 多種多重智能保護(hù)及故障檢測(cè)功能，運(yùn)行可靠性高；6) 自動(dòng)調(diào)零功能：控制儀可對(duì)流量控制器進(jìn)行自動(dòng)調(diào)零，方便操作；7) 控制接口雙極性輸出，可適應(yīng)國(guó)內(nèi)外各種型號(hào)的流量控制器；8) LED、LCD雙顯示，顯示直觀，操作界面友好。9) 體積小重量輕。最大外形尺寸483x89x100；10) 輕觸按鍵+飛梭旋鈕控制，操作簡(jiǎn)單、使用方便