宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn)，技術(shù)先進(jìn)，性能穩(wěn)定。本裝置等離子體產(chǎn)生效率高，樣品處理均勻；樣品裝卸簡(jiǎn)捷，操作方便,維護(hù)簡(jiǎn)單。該裝置用途廣泛，具有聚合物材料表面刻蝕、清洗、改性、化學(xué)氣相沉積、接枝聚合和引發(fā)接枝聚合反應(yīng)等的能力，可廣泛用于物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域。宇正YZ-1020不銹鋼腔體式多功能微波等離子體裝置由微波系統(tǒng)、等離子體發(fā)生室、樣品處理室、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和循環(huán)水冷卻系統(tǒng)組成。裝置的主要工作原理是由微波源產(chǎn)生頻率為2450MHz的微波，沿波導(dǎo)管傳輸，最后在諧振腔的真空室（等離子體反應(yīng)室）內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球，等離子體球的直徑大小取決于等離子體發(fā)生室中的氣體壓力和微波功率。樣品溫度以微波等離子體的自加熱方式達(dá)到。該裝置的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6 10－2帕，抽速2升/秒，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時(shí)反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常相對(duì)不動(dòng)接口采用金屬密封，相對(duì)可動(dòng)接口采用橡膠密封。真空測(cè)量采用數(shù)字壓阻式真空計(jì)，用來(lái)測(cè)量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓。等離子體發(fā)生室與樣品處理室分開(kāi)，均為不銹鋼腔體。樣品處理室ф262（內(nèi)徑） 165（高），左、右側(cè)及前門上各有一個(gè)（共3個(gè)）ф50觀察窗，樣品裝卸門146（寬） 68（高），內(nèi)有ф120 （直徑）水平樣品臺(tái)，樣品臺(tái)面離樣品處理室底面高度兩級(jí)可調(diào)節(jié)27-57-87。 等離子體發(fā)生室ф144（內(nèi)徑） 96（高）處于樣品處理室之上。兩路氣體輸入，在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體，可用氮?dú)?、氧氣、氦氣等常用氣體。 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵(lì)腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0－800W連續(xù)可調(diào)（最大功率可達(dá)1200W）。帶有微波輸出功率顯示（精確至1W）和反射指示?？砷L(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作。裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。 自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水.制冷系統(tǒng)可保證冷卻水溫度在30度以下,無(wú)水源要求. 真空度數(shù)字顯示，精確至1Pa。 氣體流量在較大范圍可調(diào)并顯示（精確至0.01L/min）。 無(wú)電極放電，避免放電污染，能量轉(zhuǎn)換效率高。